深圳市易佳杰电子科技有限公司

产品简述 

AS200系列气体质量流量控制器，适用于多种常规气体，提高了气体质量流量控制测量结果的准 确度及可靠性。重复精度高达±0.2%F.S.；1×10-10 Pa·m3/sec He的低泄露率，气密性好，保障生 产安全；可支持多种信号输出，包括数字信号、1～5V 模拟信号以及4～20mA模拟信号，可以使用单 电源（+15～+28VDC），适用于不同的工作场景；标准开放的通讯协议为客户自行开发控制、采集软 件提供便利

气体质量流量控制器特点

可同时支持数字信号，1～5V模拟信号，4～20mA模拟信号

使用单电源（+15～+28VDC）

支持自动故障报警，多气体多量程等功能

应用范围 

AS200系列气体质量流量控制器（MFC），主要用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。 AS200在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科 研和生产中起着重要的作用。其典型的应用场合包括：集成电路工艺设备，如外延、扩散、等离子刻 蚀、溅射、离子注入和各种CVD等设备；其他行业设备，如光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、 气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及其它分析仪器等

深圳市易佳杰电子科技有限公司是美国霍尼韦尔(HONEYWELL) 美国矽翔（Siargo) 授权代理商，同时也是日本费加罗(FIGARO) 、英国城市（CITY） 、阿尔法(Alphasense)，美国恩智浦（NXP） 、泰科（TE）、代理分销商.
主营产品：  气体、压力 温湿度、流量、电流、霍尔效应、粉尘、等全系列传感与控制产品。为客户提供产品选型、产品方案、供应保障及物流服务等。